半導体ウェハーカセット(FOUP)の非接触搬送

 2本の直線走路ユニットL1000で構成されているキャリヤ搬送用エア浮上搬送ユニットに、S社製FOUPを載せてエアをオンしました。
 テーブル上の搬送ユニットは水平ではなく僅かな勾配(1度以下)があったため、キャリヤがエア浮上すると、重力で滑り出します。
 非接触で発塵が無いため、クリーンルーム内の搬送に最適です。