エア浮上搬送直線走路ユニットL1000

 概要
  新しいエア浮上搬送装置(NACTS)構成ユニットの一つで、直線搬送用の標準送路ユニットです。(工業所有権出願済み)
  (開発/設計/製造:剱持技術士事務所    販売:釜a功産業
 特長
 ・静圧エア軸受けの原理により浮上させ非接触的に搬送するので、本質的にクリーンで静粛な搬送を実現します。
 ・標準化された走路ユニットにより、搬送装置のコストを下げることができます。
 ・走路の上面と側面に多孔質静圧エア軸受け面を備えているので、上面のみを使えば、ガラス基板の浮上搬送など、
  従来のエア浮上搬送と同様の使い方が可です。
 ・上面と側面(案内面)を使えば、2本のL1000を対向して用い、専用の搬送用キャリヤと組み合わせることにより、
  任意形状の物を搬送用キャリヤに載せて、非接触的に搬送が可能。
 標準仕様
 (詳細は剱持技術士事務所までお問合せください。)
 ・標準最大搬送荷重・・・・ 98N/本 (空圧源及び搬送キャリヤにより異なります)
 ・推奨空圧源 ・・・・ 最高圧力0.2MPa以上、最小流量200SLPM以上(無給油クリーンエアのこと)
 ・搬送キャリヤ・・・・ 搬送対象、目的により設計致します。
 ・駆動方法  ・・・・ 搬送対象、目的により設計致します。
 ・外形寸法  ・・・・ L1000外形図をご参照下さい。(なお、外形寸法は予告無く変更される場合があります。)
 用途
 (実績、価格などの詳細は釜a功産業までお問合せください。)
 
複数のユニットを自由に組み合わせて、お客様が希望する搬送ラインを実現
 ・ガラス基板半導体ウェハーカセット(FOUP)などのクリーンルーム内搬送
 ・電子部品、薬品、化粧品などの製造工程におけるクリーンな搬送
 ・クリーンルームパスボックス内の搬送
 ・一般の製造業、物流における環境に優しい省エネ搬送
 ・食品、医療など、静粛さ、清潔さ、保守の容易さ、省エネ性などが特に評価される分野の搬送
 技術資料
 (詳細は剱持技術士事務所までお問合せください。)
 ・搬送荷重とキャリヤ浮上量
 ・空圧源について
 ・発塵性検査結果
 ・搬送キャリヤ(浮上面の隙間を平行に保つことが重要。詳細は剱持技術士事務所まで)
 ・駆動方法(重力利用コイル間欠配置リニアモータなど。詳細は剱持技術士事務所まで)